【蘭州氣體配送?】氣體配送分享電子氣體的應(yīng)用及類別

【蘭州氣體配送】氣體配送分享電子氣體的應(yīng)用及類別

自從半導(dǎo)體問世以來,高純度電子氣體的可靠供應(yīng)在電子行業(yè)是至關(guān)重要的。首先通過不同的氣體流把雜質(zhì)原子引入到半導(dǎo)體材料來生產(chǎn)個別半導(dǎo)體元件,然后加以混合,再送進(jìn)名為外延生長過程的反應(yīng)容器中。

氣體配送分享在制造集成電路的過程中,超過30種不同的電子氣體被用于蝕刻\沉積\氧化\摻雜,和惰性保護(hù)的應(yīng)用。現(xiàn)代晶片電路的嚴(yán)格要求規(guī)定,百萬份\數(shù)十億份甚至萬億份的水平的微量雜質(zhì)將導(dǎo)致重大的缺陷,并由于高廢品率導(dǎo)致成本增加。

一個典型的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的輔助設(shè)施提供包括以下幾類電子氣體：

♦氮?dú)馔ǔ＠梅蛛x空氣在現(xiàn)場生產(chǎn)。它被廣泛使用在許多過程中作為提供惰性環(huán)境或一個過程完成后的反應(yīng)氣體。

♦氧氣也可以在現(xiàn)場生產(chǎn)或以低溫液體交付。它使用于把硅氧化-是所有半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的過程之一。

♦氬通常以低溫液體交付，并用于為金屬的濺射沉積提供惰性環(huán)境，因為氮?dú)獾姆磻?yīng)性高而導(dǎo)致形成金屬氮化物。

♦氫氣可以在現(xiàn)場生產(chǎn)、以低溫液體或壓縮氣體交付-這取決于消耗速率。它是用于為金屬膜進(jìn)行退火時提供一種還原環(huán)境。